Vion PFIB 的材料科学应用
Vion PFIB 特别适合用于金属、复合物和涂层，并支持众多材料表征、失效分析和样本制备应用。

• 快速制作位置特异性切片，同时直接对样本成像以实现实时监控目的
• 提高铣削速度，无需为大面积及重复性铣削项目以及钢等低溅射速率材料而牺牲质量
• 开展动态压缩或拉伸测试时，迅速对结构和表面执行位置特异性显微加工。
• 开展电子背散射衍射分析时，制备高质量的位置特异性表面；制备适用于 SEM 和 TEM 等其他成像和表征技术的标本
• 获得亚 30 nm 图像分辨率，以便快速识别与测量薄层及结构

Vion PFIB 的电子工业应用
高吞吐量三维封装分析
Vion 等离子 FIB 是一款能够进行高精度高速切削和铣削的仪器。它能够有选择地对兴趣区域进行铣削。此外，这款 PFIB 还能有选择地沉积构成图案的导体和绝缘体。
通过将高速光刻与精准控制相结合，系统可以多种方式用于 IC 生产，例如：

• 隆起物、丝焊、TSV 和晶片堆叠失效分析
• 精确移除封装和材料，以便开展失效分析以及隔离掩埋的芯片上的故障
• 在封装级别开展工艺监控和开发
• 对封装的零件和 MEMS 器件开展缺陷分析

扫描电镜广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

仪器性能和维护对于实验室的运行来说至关重要，禹重为您提供培训、仪器服务计划或按需维修服务，帮助您获得准确可靠的结果以及最长的仪器正常运行时间。我们很清楚保持仪器的最优性能对提高您的生产力极为重要，因此，我们定能在您需要时为您排忧解难。

通过与禹重的合作，您不仅可以获得最好的分析仪器，而且还将拥有未来最佳的合作伙伴

• FEI 聚焦离子束Vion Plasma FIB 系统