XPS、AES、SIMS

X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectrograph）用于固体样品的表面组成分析、化学状态分析；化学态的深度分析；线扫瞄或面扫瞄以得到线或面上的元素或化学态分布；成像功能；进行样品的原位处理等等多个方面。XPS适合的行业有：纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究，包括为存储介质、生物材料、药品、金属、矿物、复合材料和涂料等提供完整的表面分析解决方案。