配备为提供最佳 XPS 性能而设计的单色化X射线源，确保ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针有最高的样品测试通量。多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用先进的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。

ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针的特点：

• 高灵敏度能谱
• 小面积 XPS
• 深度剖析能力
• 角分辨 XPS
• 标配离子散射能谱 (ISS)功能
• 标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能
• 标配“样品预处理”室
• 多技术分析的多功能性
• 多个样品制备技术可选
• 全自动无人值守式分析
• 多样品分析

单色化X射线源

• 双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶
• 样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm

透镜、分析仪和检测器

• 透镜/分析器/检测器一体化使 ESCALAB 250Xi XPS 能谱仪同时具备成像和小面积 XPS 分析能力的独特性
• 两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检测——二维检测器用于成像，基于通道电子倍增器的检测器则用于需要检测高计数率的能谱分析
• 透镜配备了两种电脑控制的光阑组件，一套视场光阑用于控制低至 <20 μm 的分析区域，适用于小面积分析；另一套光阑则用于控制透镜的接收角，对于高质量角分辨 XPS 至关重要
• 180° 半球型能量分析器

深度剖析

• 数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能
• 提供方位角样品旋转

多技术能力

• 可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能
• 使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）
• 电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源

技术选项

• 非单色化 X 射线光源的XPS分析
• AES（俄歇电子能谱）
• UPS（紫外光电子能谱）

真空系统

• 5 mm 厚高导磁金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率
• 与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

样品制备

• 系统标配一体化的快速进样室和制备室
• 额外的制备室可选

Avantage 数据系统

• 集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成
• 允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）
• 管理从样品载入到报告导出的整个分析过程

• 催化
• 化工
• 半导体
• 微电子
• 薄膜
• 太阳能
• 金属
• 纳米材料
• 玻璃
• 高分子
• 生物材料

仪器性能和维护对于实验室的运行来说至关重要，禹重和赛默飞为您提供培训、仪器服务计划或按需维修服务，帮助您获得准确可靠的结果以及最长的仪器正常运行时间。我们很清楚保持仪器的最优性能对提高您的生产力极为重要，因此，我们定能在您需要时为您排忧解难。

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• 赛默飞ESCALAB Xi光电子能谱仪英文样本