扫描和透射电镜
电子显微镜是目前材料研究不可或缺的研究手段,包括透射/扫描电子显微镜 (TEM/SEM)、聚焦离子束 (FIB) 系统,或者与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合构成电子微探针等,实现多个行业纳米级探测、形貌观察、微区成分分析,这些行业包括材料科学、生命科学、电子、工业应用和自然资源等领域。扫描电子显微镜组合分析功能,例如显微热台和冷台系统,主要用于观察和分析材料在加热和冷冻过程中微观结构上的变化;拉伸台系统,主要用于观察和分析材料在受力过程中所发生的微观结构变化。
扫描电子显微镜与其他设备组合而具有的新型分析功能为新材料、新工艺的探索和研究起到重要作用。